简洁的设计机体,有最小限度的死舱区,阀体材质符合SEMI F-20标准 ，“超高纯度级别的半导体的生产应用材质规格为316L不锈钢”最大流量最小粒子间隔UNILOK独有特殊清洁工艺 ，指定清洁空间内 ，保证水分、氧气和碳氢化合物含量最小通过，UNILOK独有的电解抛光工艺实现沾湿区域的高光洁度，Elgiloy牌隔膜材质有强耐久性以及耐腐蚀性 ，以便延长其循环寿命,聚三氟氯乙烯阀座材质具有显著的耐化学性及耐热性。

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